為了使多晶硅廢水處理設備處理后的廢水達標排放或進行口用，在處理過程需要使用多種化學藥劑。根據用途的不同，可以將這些藥劑分成以下幾類;
　（1）絮凝劑：有時又稱為混凝劑，可作為強化固液分離的手段，用于初沉池、二沉池、浮選池及三級處理或深度處理等工藝環節。
　  (2） 助凝劑：輔助絮凝劑發揮作用，加強多晶硅廢水處理設備的汽凝效果。
　（3）調理劑：又稱為脫水劑，用于對脫水前剩余污泥的調理，其品種包括上述的部分絮凝劑和助凝劑。
　（4）破乳劑：有時也稱脫穩劑，主要用于對含有乳化油的含油廢水氣浮前的預處理，其品種包括上述的部分絮凝劑和助凝劑。
　  (5）消泡劑：主要用于消除多晶硅廢水處理設備時的曝氣或說拌過程中出現的大量泡沫。
　  (6）pH調整劑：用于將酸性廢水和堿性廢水的pH值調整為中性。
　（7）氧化還原劑：用于含有氧化性物質或還原性物質的工業廢水的處理。

　  (8）消毒劑：用于在多晶硅廢水處理設備處理后排放或回用前的消毒處理。